当社の高周波電源は、薄膜製造装置(スパッタリング、エッチング、プラズマCVD、イオンプレーティング)及び分析装置(ICP、NMR)と幅広い分野に活躍しています。
型名 | QP-500A
QP-500AW | QP-1000A
QP-1000AW | QP-1800A
QP-1800AW | QP-2500AW | QP-5000AW |
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出力電力(W) | 500W | 1000W | 1800W | 2500W | 5000W |
周波数 | 13.56MHz 27.12MHz 40.68MHz | 13.56MHz | |||
出力インピーダンス | 50Ω | ||||
出力安定度 | 長時間ドリフト ±0.1%/30分
温度ドリフト ±200ppm/℃ RFリップル 1%以下 | ||||
反射波保護電力 | 100W | 200W | 360W | 500W | 1000W |
高調波 | -50dBc以下 |