QP series
パワーエレクトロニクス、大電力高周波技術により、 医用MRI及び周辺機器、分光分析装置など幅広い分野で、よりSimpleで信頼できるコンポーネンツを提供します。
パワーエレクトロニクス、大電力高周波技術により、
医用MRI及び周辺機器、分光分析装置など幅広い分野で、よりSimpleで信頼できるコンポーネンツを提供します。
特長
当社の高周波電源は、薄膜製造装置（スパッタリング、エッチング、プラズマCVD、イオンプレーティング）及び分析装置（ICP、NMR）と幅広い分野に活躍しています。
仕様
| 型名 | QP-500A
QP-500AW | QP-1000A
QP-1000AW | QP-1800A
QP-1800AW | QP-2500AW | QP-5000AW |
|---|---|---|---|---|---|
| 出力電力(W) | 500W | 1000W | 1800W | 2500W | 5000W |
| 周波数 | 13.56MHz 27.12MHz 40.68MHz | 13.56MHz | |||
| 出力インピーダンス | 50Ω | ||||
| 出力安定度 | 長時間ドリフト ±0.1％/30分
温度ドリフト ±200ppm/℃ RFリップル 1％以下 | ||||
| 反射波保護電力 | 100W | 200W | 360W | 500W | 1000W |
| 高調波 | -50dBc以下 | ||||
