QP series
パワーエレクトロニクス、大電力高周波技術により、 
医用MRI及び周辺機器、分光分析装置など幅広い分野で、よりSimpleで信頼できるコンポーネンツを提供します。

特長

当社の高周波電源は、薄膜製造装置(スパッタリング、エッチング、プラズマCVD、イオンプレーティング)及び分析装置(ICP、NMR)と幅広い分野に活躍しています。

仕様

型名QP-500A
QP-500AW
QP-1000A
QP-1000AW
QP-1800A
QP-1800AW
QP-2500AWQP-5000AW
出力電力(W)500W1000W1800W2500W5000W
周波数13.56MHz 27.12MHz 40.68MHz13.56MHz
出力インピーダンス50Ω
出力安定度長時間ドリフト ±0.1%/30分
温度ドリフト ±200ppm/℃
RFリップル 1%以下
反射波保護電力100W200W360W500W1000W
高調波-50dBc以下